光源系统设备验收阶段圆满完成,接下来就是高阶光刻机的组装。
除了光源系统、双工作台系统和光学系统，余下零件所需还有更精确的镜头组、反射镜，以及arf光刻胶等,国内暂时还没有研发出来。
但这都不是问题。
因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破,剩下的arf光刻胶等技术要求很高,可相对来说，难度系数不是特别大。
林成建也很兴奋，他勉强保持冷静,对盛明安和陈惊璆说：“光源系统设备验收通过，ic设计部正在攻破20n以下的鳍式场效应晶体管工艺，尽量保证我们能够生?产出135n工艺以上更高精度的芯片。”
鳍式场效应晶体管是一种防止因高精度工艺而导致晶体管失去开关作用而发明的工艺，采用3d立体?晶体管架构，突破芯片晶体管的22n工艺极限，不直接作用于光刻机，而是ic设计工程师必�
更多内容加载中...请稍候...
本站只支持手机浏览器访问，若您看到此段落，代表章节内容加载失败，请关闭浏览器的阅读模式、畅读模式、小说模式，以及关闭广告屏蔽功能，或复制网址到其他浏览器阅读！
本章未完，请点击下一章继续阅读！若浏览器显示没有新章节了，请尝试点击右上角↗️或右下角↘️的菜单，退出阅读模式即可，谢谢！